1. Ommaviy gaz tizimining ta'rifi:
Inert gazlarni saqlash va bosimni boshqarish Gaz turlari: Odatda inert gazlar (azot, argon, siqilgan havo va boshqalar)
Quvur liniyasi hajmi: 1/4 dan (kuzatuv quvuri) 12 dyuymli asosiy quvurgacha
Tizimning asosiy mahsulotlari: diafragma klapani/silfon klapani/shar klapani, yuqori tozalikdagi ulagich (VCR, payvandlash shakli), ferrul ulagichi, bosimni tartibga soluvchi klapan, bosim o'lchagichi va boshqalar.
Hozirgi vaqtda yangi tizim shuningdek, saqlash va tashish uchun qo'zg'almas gaz ballonlari yoki sisternalardan foydalanadigan maxsus gaz tizimini ham o'z ichiga oladi.
2. Tozalash tizimining ta'rifi:
Yuqori toza gaz quvurlari uchun quyma gazlardan iflosliklarni olib tashlash
3. Gaz shkaflarining ta'rifi:
Maxsus gaz manbalari (zaharli, yonuvchan, reaktiv, korroziv gazlar) uchun bosimni boshqarish va oqim monitoringini ta'minlash va gaz ballonlarini almashtirish imkoniyatiga ega bo'lish.
Joylashuv: Maxsus gazlarni saqlash uchun pastki qavatda yoki pastki qavatda joylashgan. Manba: NF3, SF6, WF6 va boshqalar.
Quvur liniyasi hajmi: Ichki gaz quvuri, odatda texnologik quvur liniyasi uchun 1/4 dyuym, asosan yuqori tozaligi azotni tozalash quvur liniyasi uchun 1/4-3/8 dyuym.
Asosiy mahsulotlar: Yuqori tozalikdagi diafragma klapanlari, nazorat klapanlari, bosim o'lchagichlari, bosim o'lchagichlari, yuqori tozalikdagi ulagichlar (VCR, payvandlash shakli). Ushbu gaz shkaflari asosan uzluksiz gaz ta'minoti va silindrlarni xavfsiz almashtirishni ta'minlash uchun silindrlarni avtomatik almashtirish imkoniyatlariga ega.
4. Tarqatish ta'rifi:
Gaz manbasini gaz yig'ish bobiniga ulash
Chiziq o'lchami: Chip zavodida ommaviy gaz taqsimlash quvurining o'lchami odatda 1/2 dyuymdan 2 dyuymgacha o'zgaradi.
Ulanish shakli: Maxsus gaz quvurlari odatda payvandlash orqali ulanadi, mexanik ulanish yoki boshqa harakatlanuvchi qismlarsiz, asosan payvandlash ulanishi kuchli muhrlanish ishonchliligiga ega bo'lgani uchun.
Chip zavodida gaz uzatish uchun yuzlab kilometr uzunlikdagi quvurlar ulangan bo'lib, ular asosan taxminan 20 fut uzunlikda va payvandlangan. Ba'zi quvurlarning egilishi va payvandlash ulanishlari ham juda keng tarqalgan.
5. Ko'p funksiyali klapan qutisi (Valve Manifold Box, VMB) Ta'rifi:
Bu maxsus gazlarni gaz manbasidan turli xil uskunalarning uchlariga tarqatishdir.
Ichki quvur o'lchami: 1/4 dyuymli texnologik quvur va 1/4 - 3/8 dyuymli tozalash quvuri. Tizim ishga tushiriladigan klapanlarni talab qilish yoki qo'lda klapanlar bilan arzonroq vaziyatlarni talab qilish uchun kompyuter boshqaruvidan foydalanishi mumkin.
Tizim mahsulotlari: yuqori tozalikdagi diafragma klapanlari/silfon klapanlari, qaytaruvchi klapanlar, yuqori tozalikdagi bo'g'inlar (VCR, mikro-payvandlash shakli), bosimni tartibga soluvchi klapanlar, bosim o'lchagichlari va bosim o'lchagichlari va boshqalar. Ba'zi inert gazlarni taqsimlash uchun asosan ochiq gaz disk yuzasiga ega bo'lgan va yopiq joy dizayni va qo'shimcha azotni tozalashni talab qilmaydigan VMP (ko'p funksiyali klapan diski) klapan manifold paneli ishlatiladi.
6. Ikkilamchi klapan plitasi/qutisi (asboblarni ulash paneli) Ta'rif:
Yarimo'tkazgich uskunasi tomonidan talab qilinadigan gazni gaz manbaidan uskunaning uchiga ulang va mos keladigan bosimni boshqarishni ta'minlang. Ushbu panel VMB (ko'p funksiyali klapan qutisi) ga qaraganda uskunaning uchiga yaqinroq joylashgan gazni boshqarish tizimidir.
Gaz quvurining o'lchami: 1/4 - 3/8 dyuym
Suyuq quvur liniyasi hajmi: 1/2 - 1 dyuym
Chiqarish quvurining o'lchami: 1/2 - 1 dyuym
Asosiy mahsulotlar: diafragma klapani/silfon klapani, bir tomonlama klapan, bosimni tartibga soluvchi klapan, bosim o'lchagich, bosim o'lchagich, yuqori tozalikdagi bo'g'in (VCR, mikro-payvandlash), ferrul bo'g'in, sharsimon klapan, shlang va boshqalar.
Nashr vaqti: 2024-yil 22-noyabr