1. Ommaviy gaz tizimining ta'rifi:
Inert gazlarni saqlash va bosimni nazorat qilish Gaz turlari: Odatda inert gazlar (azot, argon, siqilgan havo va boshqalar)
Quvur o'lchami: 1/4 (monitoring quvur liniyasi) dan 12 dyuymli magistral quvur liniyasigacha
Tizimning asosiy mahsulotlari quyidagilardir: diafragma klapan / ko'rfaz klapan / sharli vana, yuqori toza konnektor (VCR, payvandlash shakli), ferrul ulagichi, bosimni tartibga soluvchi valf, bosim o'lchagich va boshqalar.
Ayni paytda yangi tizim shuningdek, saqlash va tashish uchun statsionar gaz ballonlari yoki avtosisternalardan foydalanadigan quyma maxsus gaz tizimini ham o'z ichiga oladi.
2. Tozalash tizimining ta'rifi:
Yuqori toza gaz quvurlari uchun quyma gazlardan aralashmalarni olib tashlash
3. Gaz shkaflarining ta'rifi:
Maxsus gaz manbalari (zaharli, yonuvchan, reaktiv, korroziy gazlar) uchun bosim nazorati va oqim monitoringini ta'minlash va gaz ballonlarini almashtirish qobiliyatiga ega.
Joylashuv: Sub-fab qavatida yoki maxsus gazlarni saqlash uchun pastki qavatda joylashgan Manba: NF3, SF6, WF6 va boshqalar.
Quvur o'lchami: Ichki gaz quvuri, odatda texnologik quvur liniyasi uchun 1/4 dyuym, 1/4-3/8 dyuym, asosan yuqori tozalikdagi azotni tozalash quvuri uchun.
Asosiy mahsulotlar: Yuqori toza diafragma klapanlari, nazorat klapanlari, bosim o'lchagichlari, bosim o'lchagichlari, yuqori toza konnektorlar (VCR, payvandlash shakli) Bu gaz shkaflari, asosan, doimiy gaz ta'minoti va silindrlarni xavfsiz almashtirishni ta'minlash uchun silindrlarni avtomatik almashtirish imkoniyatlarini o'z ichiga oladi.
4. Tarqatish ta'rifi:
Gaz manbasini gaz yig'ish batareyasiga ulash
Chiziq o'lchami: Chip fabrikasida ommaviy gaz taqsimlash quvurining o'lchami odatda 1/2 dyuymdan 2 dyuymgacha o'zgaradi.
Ulanish shakli: Maxsus gaz quvurlari odatda payvandlash yo'li bilan, hech qanday mexanik aloqasi yoki boshqa harakatlanuvchi qismlarisiz, asosan, payvandlash aloqasi kuchli muhrlanish ishonchliligiga ega bo'lgani uchun ulanadi.
Chip ishlab chiqaruvchi zavodda gazni uzatish uchun ulangan yuzlab kilometr uzunlikdagi quvurlar mavjud bo'lib, ular asosan 20 fut uzunlikdagi va bir-biriga payvandlangan. Ba'zi quvurlar burmalari va quvurli payvandlash ulanishlari ham juda keng tarqalgan.
5. Ko'p funktsiyali valf qutisi (Valve Manifold Box, VMB) Ta'rif:
Bu gaz manbasidan maxsus gazlarni turli jihozlarning uchlariga tarqatishdir.
Ichki quvur liniyasi hajmi: 1/4 dyuymli texnologik quvur liniyasi va 1/4 - 3/8 dyuymli tozalash quvur liniyasi. Tizim ishga tushiriladigan klapanlarni talab qilish yoki qo'lda klapanlar bilan arzon narxlardagi vaziyatlarni talab qilish uchun kompyuter boshqaruvidan foydalanishi mumkin.
Tizim mahsulotlari: yuqori tozalikdagi diafragma klapanlar/ko'rgichli klapanlar, nazorat klapanlari, yuqori toza bo'g'inlar (VCR, mikro-payvandlash shakli), bosimni tartibga soluvchi klapanlar, bosim o'lchagichlar va bosim o'lchagichlar va boshqalar. Ba'zi inert gazlarni taqsimlash uchun Valve Manifold Paneli - VMP (ko'p funktsiyali valf diski) asosan ishlatiladi, u ochiq gazli disk yuzasiga ega va yopiq joy dizayni va qo'shimcha azotni talab qilmaydi. tozalash.
6. Ikkilamchi valf plitasi/qutisi (Asboblarni ulash paneli) Ta'rif:
Yarimo'tkazgich uskunasi uchun zarur bo'lgan gazni gaz manbasidan uskunaning oxiriga ulang va tegishli bosimni tartibga soling. Ushbu panel VMB (ko'p funktsiyali valf qutisi) ga qaraganda uskunaning oxiriga yaqinroq bo'lgan gazni boshqarish tizimidir.
Gaz quvurining o'lchami: 1/4 - 3/8 dyuym
Suyuqlik quvurining o'lchami: 1/2 - 1 dyuym
Chiqarish quvurining o'lchami: 1/2 - 1 dyuym
Asosiy mahsulotlar: diafragma klapan / ko'rfaz klapan, bir tomonlama valf, bosim regulyatori, bosim o'lchagich, bosim o'lchagich, yuqori toza birikma (VCR, mikro-payvandlash), ferrul qo'shma, sharli vana, shlang va boshqalar.
Yuborilgan vaqt: 22-noyabr-2024