As yarimo'tkazgichva mikroelektronik texnologiyalar yuqori mahsuldorlik va yuqori integratsiyaga qarab rivojlanadi, elektron maxsus gazlarning tozaligiga yuqori talablar qo'yiladi. Yuqori toza gaz quvurlari texnologiyasi yuqori toza gaz ta'minoti tizimining muhim qismidir. Bu gazdan foydalanish punktlariga qo'yiladigan talablarga javob beradigan yuqori toza gazlarni yetkazib berishning asosiy texnologiyasi bo'lib, ayni paytda malakali sifatni saqlab qoladi.
Yuqori tozalikdagi quvurlar texnologiyasi tizimning to'g'ri dizayni, quvur qismlari va yordamchi materiallarni tanlash, qurilish va o'rnatish va sinovdan o'tkazishni o'z ichiga oladi.
01 Gaz uzatish quvurlari haqida umumiy tushuncha
Barcha yuqori toza va yuqori toza gazlar quvurlar orqali terminal gaz nuqtasiga o'tkazilishi kerak. Gaz eksporti indeksi aniq bo'lganda, gaz uchun jarayon sifatiga qo'yiladigan talablarni qondirish uchun quvur tizimining material tanlash va qurilish sifatiga ko'proq e'tibor berish kerak. Gaz ishlab chiqarish yoki tozalash uskunasining aniqligiga qo'shimcha ravishda, u asosan quvur liniyasi tizimining ko'plab omillariga ta'sir qiladi. Shuning uchun quvurlarni tanlashda tegishli tozalash sanoati tamoyillariga rioya qilish va quvurlarning materialini chizmalarda belgilash kerak.
02 Gazni tashishda yuqori tozalikdagi quvurlarning ahamiyati
Yuqori toza gazni tashishda yuqori tozalikdagi quvurlarning ahamiyati Zanglamaydigan po'latdan eritish jarayonida har bir tonna taxminan 200 g gazni o'zlashtirishi mumkin. Zanglamaydigan po'latdan ishlov berilgandan so'ng, uning yuzasiga nafaqat turli ifloslantiruvchi moddalar yopishib qoladi, balki uning metall panjarasida ma'lum miqdorda gaz ham so'riladi. Quvur orqali havo oqimi mavjud bo'lganda, gazning metall tomonidan so'rilgan qismi havo oqimiga qayta kiradi va toza gazni ifloslantiradi.
Quvurdagi havo oqimi uzluksiz bo'lsa, quvur o'tayotgan gazda bosim adsorbsiyasini hosil qiladi. Havo oqimi o'tishni to'xtatganda, quvur orqali adsorbsiyalangan gaz bosimni pasaytirish tahlilini hosil qiladi va tahlil qilingan gaz ham nopoklik sifatida quvurdagi toza gazga kiradi.
Shu bilan birga, adsorbsiya va tahlil davri quvurning ichki yuzasidagi metallning ma'lum miqdorda kukun ishlab chiqarishiga olib keladi. Ushbu metall chang zarrasi quvurdagi toza gazni ham ifloslantiradi. Quvurning bu xususiyati juda muhimdir. Tashilayotgan gazning tozaligini ta'minlash uchun nafaqat quvurning ichki yuzasi juda yuqori silliqlikka ega bo'lishi, balki uning aşınmaya bardoshliligi ham talab qilinadi.
Gaz kuchli korroziy xususiyatlarga ega bo'lganda, quvurlar uchun korroziyaga chidamli zanglamaydigan po'lat quvurlardan foydalanish kerak. Aks holda, korroziya tufayli quvurning ichki yuzasida korroziya dog'lari paydo bo'ladi. Og'ir holatlarda metallning katta bo'laklari tozalanadi yoki hatto teshiladi va shu bilan tashilayotgan toza gazni ifloslantiradi.
03 Quvur materiali
Quvurning materialini tanlash foydalanish ehtiyojlariga qarab tanlanishi kerak. Quvurning sifati odatda quvurning ichki yuzasining pürüzlülüğü bo'yicha o'lchanadi. Pürüzlülük qanchalik past bo'lsa, zarrachalarni tashish ehtimoli shunchalik past bo'ladi. Odatda uch turga bo'linadi:
BiriEP toifasidagi 316L quvur, elektrolitik jilo qilingan (Elektro-polish). Bu korroziyaga chidamli va past sirt pürüzlülüğüne ega. Rmax (maksimal cho'qqidan vodiy balandligi) taxminan 0,3 mkm yoki undan kam. U eng yuqori tekislikka ega va mikro girdobli oqimlarni hosil qilish oson emas. Kontaminatsiyalangan zarralarni olib tashlang. Jarayonda ishlatiladigan reaksiya gazi bu darajada quvur o'tkazilishi kerak.
Ulardan biri aBA darajasi 316LBright Anneal tomonidan ishlov berilgan va ko'pincha chip bilan aloqada bo'lgan, lekin jarayon reaktsiyasida ishtirok etmaydigan GN2 va CDA kabi gazlar uchun ishlatiladigan quvur. Ulardan biri AP trubkasi (Tavlash va yig'ish), u maxsus ishlov berilmagan va odatda gaz ta'minoti liniyalari sifatida ishlatilmaydigan tashqi quvurlarning ikki to'plami uchun ishlatiladi.
04 Quvurni qurish
Quvurning og'zini qayta ishlash ushbu qurilish texnologiyasining asosiy nuqtalaridan biridir. Quvurni kesish va tayyorlash toza muhitda amalga oshiriladi va shu bilan birga, kesishdan oldin quvur liniyasi yuzasida zararli belgilar yoki shikastlanishlar yo'qligi ta'minlanadi. Quvurni ochishdan oldin quvur liniyasida azotni yuvish uchun tayyorgarlik ko'rish kerak. Asos sifatida, payvandlash yuqori toza va yuqori toza gaz uzatish va tarqatish quvurlarini katta oqim bilan ulash uchun ishlatiladi, lekin to'g'ridan-to'g'ri payvandlashga yo'l qo'yilmaydi. Qopqoq bo'g'inlaridan foydalanish kerak va ishlatiladigan quvur materiali payvandlash paytida strukturada hech qanday o'zgarish bo'lmasligi kerak. Agar uglerod miqdori juda yuqori bo'lgan material payvandlangan bo'lsa, payvandlash qismining havo o'tkazuvchanligi quvur ichidagi va tashqarisidagi gazning bir-biriga kirib borishiga olib keladi, bu esa tashuvchi gazning tozaligi, quruqligi va tozaligini buzadi, bu esa jiddiy oqibatlarga olib keladi. va ishlab chiqarish sifatiga ta'sir qiladi.
Xulosa qilib aytganda, yuqori toza gaz va maxsus gaz uzatish quvurlari uchun maxsus ishlov berilgan yuqori toza zanglamaydigan po'latdan yasalgan quvurdan foydalanish kerak, bu esa yuqori tozalikdagi quvur liniyasi tizimini (shu jumladan quvur liniyalari, quvur armaturalari, klapanlar, VMB, VMP) egallaydi. yuqori toza gaz taqsimotidagi hayotiy missiya.
Xabar vaqti: 26-noyabr-2024