As yarimo'tkazgichva mikroelektron texnologiyalar yuqori samaradorlik va yuqori integratsiyaga qarab rivojlanib borayotganligi sababli, elektron maxsus gazlarning sofligiga yuqori talablar qo'yilmoqda. Yuqori toza gaz quvurlari texnologiyasi yuqori toza gaz ta'minoti tizimining muhim qismidir. Bu gazdan foydalanish nuqtalariga talablarga javob beradigan yuqori toza gazlarni yetkazib berishning asosiy texnologiyasi bo'lib, shu bilan birga malakali sifatni saqlab qoladi.
Yuqori tozalikdagi quvur texnologiyasi tizimni to'g'ri loyihalashni, quvur armaturalari va yordamchi materiallarni tanlashni, qurilish va o'rnatish hamda sinovdan o'tkazishni o'z ichiga oladi.
01 Gaz uzatish quvurlarining umumiy tushunchasi
Barcha yuqori tozalik va yuqori tozalikdagi gazlar terminal gaz punktiga quvurlar orqali tashish kerak. Gaz uchun jarayon sifati talablariga javob berish uchun, gaz eksport indeksi aniq bo'lganda, quvur tizimining material tanlash va qurilish sifatiga e'tibor qaratish zarur. Gaz ishlab chiqarish yoki tozalash uskunasining aniqligidan tashqari, u asosan quvur tizimining ko'plab omillariga ta'sir qiladi. Shuning uchun quvurlarni tanlashda tegishli tozalash sanoati tamoyillariga rioya qilish va chizmalarda quvurlar materialini belgilash kerak.
02 Gaz tashishda yuqori tozalikdagi quvurlarning ahamiyati
Yuqori tozalikdagi gaz tashishda yuqori tozalikdagi quvurlarning ahamiyati Zanglamaydigan po'latni eritish jarayonida har bir tonna taxminan 200 g gazni yutishi mumkin. Zanglamaydigan po'lat qayta ishlangandan so'ng, uning yuzasiga nafaqat turli xil ifloslantiruvchi moddalar yopishib qoladi, balki uning metall panjarasida ma'lum miqdorda gaz ham yutiladi. Quvur orqali havo oqimi o'tganda, metall tomonidan yutilgan gazning bir qismi havo oqimiga qayta kiradi va toza gazni ifloslantiradi.
Quvur ichidagi havo oqimi uzilib qolganda, quvur o'tayotgan gazda bosim adsorbsiyasini hosil qiladi. Havo oqimi o'tishni to'xtatganda, quvur tomonidan adsorbsiyalangan gaz bosimni pasaytirish tahlilini hosil qiladi va tahlil qilingan gaz quvur ichidagi sof gazga aralashma sifatida kiradi.
Shu bilan birga, adsorbsiya va tahlil sikli quvurning ichki yuzasidagi metallning ma'lum miqdorda kukun hosil bo'lishiga olib keladi. Bu metall chang zarrasi quvurdagi sof gazni ham ifloslantiradi. Quvurning bu xususiyati juda muhimdir. Tashilayotgan gazning sofligini ta'minlash uchun nafaqat quvurning ichki yuzasi juda yuqori silliqlikka ega bo'lishi, balki yuqori aşınma qarshiligiga ham ega bo'lishi kerak.
Gaz kuchli korroziyaga chidamli xususiyatlarga ega bo'lganda, quvurlar uchun korroziyaga chidamli zanglamaydigan po'lat quvurlardan foydalanish kerak. Aks holda, korroziya tufayli quvurning ichki yuzasida korroziya dog'lari paydo bo'ladi. Og'ir holatlarda, katta metall bo'laklari ko'chib ketadi yoki hatto teshiladi, shu bilan tashilayotgan sof gazni ifloslantiradi.
03 Quvur materiali
Quvur materialini tanlash foydalanish ehtiyojlariga qarab tanlanishi kerak. Quvur sifati odatda quvur ichki yuzasining pürüzlülüğüne qarab o'lchanadi. Pürüzlülük qanchalik past bo'lsa, zarrachalarni tashish ehtimoli shunchalik kam bo'ladi. Odatda uch turga bo'linadi:
BiriEP sinfidagi 316L quvur, elektrolitik usulda sayqallangan (Elektro-Jilo). U korroziyaga chidamli va sirt pürüzlülüğü past. Rmax (cho'qqidan vodiy balandligigacha bo'lgan maksimal qiymat) taxminan 0,3 mkm yoki undan kam. U eng yuqori tekislikka ega va mikro-quyma oqimlarini hosil qilish oson emas. Ifloslangan zarrachalarni olib tashlang. Jarayonda ishlatiladigan reaksiya gazi shu darajada quvur orqali o'tkazilishi kerak.
Biri buBA darajasi 316LBright Anneal bilan ishlov berilgan va ko'pincha chip bilan aloqada bo'lgan, ammo jarayon reaksiyasida ishtirok etmaydigan gazlar, masalan, GN2 va CDA uchun ishlatiladigan quvur. Ulardan biri AP quvuri (Yuvish va yig'ish) bo'lib, u maxsus ishlov berilmaydi va odatda gaz ta'minoti liniyalari sifatida ishlatilmaydigan tashqi quvurlarning ikki to'plami uchun ishlatiladi.
04 Quvur liniyasi qurilishi
Quvur og'zini qayta ishlash ushbu qurilish texnologiyasining asosiy jihatlaridan biridir. Quvurni kesish va oldindan tayyorlash toza muhitda amalga oshiriladi va shu bilan birga, kesishdan oldin quvur yuzasida zararli izlar yoki shikastlanishlar yo'qligiga ishonch hosil qilinadi. Quvurni ochishdan oldin quvurda azotni yuvish uchun tayyorgarlik ko'rish kerak. Asosan, yuqori tozalik va yuqori tozalikdagi gaz uzatish va taqsimlash quvurlarini katta oqim bilan ulash uchun payvandlash qo'llaniladi, ammo to'g'ridan-to'g'ri payvandlashga yo'l qo'yilmaydi. Qopqoq bo'g'inlaridan foydalanish kerak va ishlatiladigan quvur materiali payvandlash paytida tuzilishida o'zgarish bo'lmasligi kerak. Agar juda yuqori uglerod miqdoriga ega material payvandlansa, payvandlash qismining havo o'tkazuvchanligi quvur ichidagi va tashqarisidagi gazning bir-biriga kirib borishiga olib keladi, bu esa tashuvchi gazning tozaligi, quruqligi va tozaligini buzadi, bu esa jiddiy oqibatlarga olib keladi va ishlab chiqarish sifatiga ta'sir qiladi.
Xulosa qilib aytganda, yuqori toza gaz va maxsus gaz uzatish quvurlari uchun maxsus ishlov berilgan yuqori toza zanglamaydigan po'lat quvurdan foydalanish kerak, bu esa yuqori tozalikdagi quvur tizimini (shu jumladan, quvurlar, quvur armaturalari, klapanlar, VMB, VMP) yuqori tozalikdagi gaz taqsimlashda muhim vazifani bajaradi.
Nashr vaqti: 2024-yil 26-noyabr