Nima uchun UHP gaz yetkazib berish tizimlari shunchalik muhim?
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda — o'yib ishlov berish, CVD, ion implantatsiyasi va litografiya kabi jarayonlarda — gazlar juda yuqori tozalikka ega bo'lishi kerak, odatda 99,9999% (6N) yoki hatto 99,99999% (7N). Hatto ppb (milliardga qismlar) yoki ppt (trillionga qismlar) darajasidagi iz ifloslantiruvchi moddalar ham — masalan, namlik yoki kislorod — darvoza oksidi yupqalashishi, metall bo'shliqlar yoki plastinkalardagi qisqa tutashuvlar kabi halokatli nuqsonlarga olib kelishi mumkin, bu esa butun partiyalarni yo'q qilishi mumkin.
Shuning uchun UHP gaz yetkazib berish tizimining vazifasi gazlarni manbadan texnologik asbobga tozaligining pasayishisiz tashish, har bir nuqtada ifloslanish va oqishning oldini olishdir.
Nima uchun EP quvurlari UHP tizimlarining asosiy tayanchiga aylanadi?
EP (elektropolirovkalangan) quvurlar elektrokimyoviy polishing jarayonidan o'tadigan zanglamaydigan po'latdan yasalgan bo'lib, oynaga o'xshash ichki sirt hosil qiladi. Bu uni UHP gaz taqsimoti uchun ajralmas "arteriya" ga aylantiradi.
Eng yuqori tozalik – manbadan oldini olish
EP bilan ishlov berish ichki sirt pürüzlülüğünü (Ra) 0,13 µm – 0,25 µm yoki undan ham pastroq darajaga tushiradi. Ushbu o'ta silliq qoplama mikroskopik yoriqlar va adsorbsiya joylarini yo'q qiladi, zarrachalar, metall ionlari yoki namlikning yopishishi uchun joy qoldirmaydi.
Korroziyaga chidamlilikni oshirish – poklikni saqlash
Elektropolyatsiya bosqichi sirtdagi iflosliklarni yo'qotadi va xrom oksidiga boy passiv qatlam hosil qiladi, bu esa Cl₂, CF₄ va HCl kabi korroziyali gazlarga chidamliligini sezilarli darajada yaxshilaydi. Bu zarrachalar yoki chiqindi gazlar ifloslanishiga olib kelishi mumkin bo'lgan quvur devorlarining korroziyasini oldini oladi.
Oqim samaradorligini oshirish va tezroq tozalash
Silliq ichki devor oqim qarshiligini pasaytiradi va tizimni tozalash va gazni almashtirishni tezlashtiradi. Tez gaz almashtirishni talab qiladigan jarayonlarda bu sikl vaqtini qisqartiradi va fab o'tkazuvchanligini oshiradi.
Yuqori sifatli material – “Crown” standarti
Yuqori sifatli EP quvurlari 316L VIM-VAR (Vakuumli induksion eritish + Vakuumli yoyni qayta eritish) zanglamaydigan po'latdan ishlab chiqariladi. Ushbu ikki tomonlama eritish jarayoni asosiy metallning yuqori darajada sofligini ta'minlaydi, bu esa EPning eng yuqori samaradorligiga erishishning asosiy shartidir.
Asosiy dastur stsenariylari
•
Asosiy jarayonlar– Oʻyib ishlov berish, yurak-qon tomir kasalliklari, ion implantatsiyasi va litografiya uchun yuqori tozalikdagi reaktiv gazlarni yetkazib berish.
•
Maxsus gazlar– SiH₄, PH₃, Cl₂ va BCl₃ kabi yonuvchan, zaharli yoki korroziv gazlarni xavfsiz ishlatish. Juda xavfli gazlar uchun ko'pincha ikki qavatli EP naychalari ishlatiladi (gaz uchun ichki naycha, oqish monitoringi uchun evakuatsiya qilingan yoki azot bilan purkalgan tashqi qoplama).
•
Muhim apparat– Gaz taqsimlash panellarida (GTP), gaz shkaflarida va juda toza ichki yuzalar talab qilinadigan texnologik asboblar ulagichlarida qo'llaniladi.
Quvurlardan tashqari: To'liq UHP tizimi uchun boshqa zarur narsalar
Mutlaq yaxlitlikni ta'minlash uchun tizim quyidagilarni ham o'z ichiga olishi kerak:
•
To'liq avtomatik orbital payvandlash– ISO 5-sinf (100-sinf) yoki undan yuqori toza xonalarda bajariladi, qo'lda payvandlashdagi o'zgarishlar va ifloslanish xavfini bartaraf etadi.
•
Butun metall yuz muhrlash moslamalari– Masalan, nol oqish xususiyatiga ega metall qistirmalarga tayanadigan VCR® yoki W-Seal turlari.
•
Qattiq tozalash va qadoqlash– EP naychalari odatda yuqori toza suv bilan tozalanadi, quritiladi va o'rnatilgunga qadar "jo'natilgan" sofligini saqlab qolish uchun toza xona qadoqlariga ikki marta qadoqlanadi.
EP quvurlari shunchaki quvur emas - bu yarimo'tkazgichli gaz yetkazib berishda birinchi himoya chizig'idir. Uning ultra silliq yuzasi, yuqori korroziyaga chidamliligi va yuqori sifatli material sofligi plastinka hosildorligiga, qurilmaning ishonchliligiga va umumiy ishlab chiqarish rentabelligiga bevosita ta'sir qiladi. 5 nm dan kichik tugunlar va tobora qattiqroq nuqsonlar byudjeti dunyosida EP quvurlari ixtiyoriy emas - u asosdir.
Joylashtirilgan vaqt: 2026-yil 5-avgust